FOTOLACK: AZ® P4110, AZ® P4903, AZ® P4620

AZ® P4110, AZ® P4903 und AZ® P4620 gehören zur Serie der Positiv-Dicklacken, aufgrund ihre verringerte Fotoinitiator-Konzentration im Lackschichtdickenbereich von ca. 3 - 30 µm prozessierbar. Durch eine verbesserte Haftung auf allen üblichen Substratmaterialien vor allem geeignet für nasschemische Prozesse wie Ätzen oder die galvanische Abscheidung.

AZ® P4110

Lackschichtdickenbereich: Ca. 2 - 5 µm.

AZ® P4330

Lackschichtdickenbereich: Ca. 3 - 8 µm.

AZ® P4620

Lackschichtdickenbereich: Ca. 2 - 5 µm.

Herausragende Eigenschaften

Die AZ® P4000 Positivlack-Familie mit ihren Vertretern AZ® P4110, AZ® P4330, AZ® P4620 und AZ® P4903 zeichnet sich durch folgende Merkmale aus:

  • Eine auf allen üblichen Substratmaterialien verbesserte Haftung für eine optimale Haftung für z. B. nasschemisches Ätzen
  • Eine geringere Fotonitiator-Konzentration vereinfacht die Belichtung dicker und sehr dicker Lackschichten
  • Steile Lackflanken und hohe Aspektverhältnisse
  • g-, h- und i-line empfindlich
  • Entwickler: KOH-basiert (z. B. AZ® 400K) oder TMAH-basiert (z. B. AZ® 826 MIF)
  • Standard Stripper (z. B. AZ® 100 Remover, TechniStrip P1316)
  • Verdünner und Randwallentfernung: AZ® EBR Solvent (= PGMEA)
Development

AZ® 400K 1:4 oder AZ® 826 MIF wird empfohlen.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> AZ® P4000 series  (TDS)
> Info AZ® P4000 series
> Info AZ® P4620

Wenn Sie Interesse an weiter führenden technischen Informationen, einem Angebot oder einem kostenlosen Muster haben, bitte zögern Sie nicht uns zu kontaktieren.

> sales@microchemcials.com

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