Nun gibt es das MicroChemicals Aceton und Isopropanol in ULSI Qualität. Unsere Lösemittel gibt es in 2,5 L Gebinden und können als Einzelflasche oder in der Verpackungseinheit von 4 x 2,5 L bestellt werden. Beide Produkte eignen sich ideal zur Substratreinigung für organische Verunreinigungen und Partikel.
Nähere technische Daten können Sie den folgenden Spezifikationen entnehmen:
> Spezifikation Aceton
> Spezifikation Isopropanol
Aceton
Physikalische Eigenschaften von Aceton:
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Dichte |
0.79 g/cm3 |
Typische Anwendungsbereiche für Aceton
Aceton eignet sich aufgrund seiner sehr hohen Lösekraft für organische Verunreinigungen optimal als 1. Stufe zur Substratreinigung. Der hohe Dampfdruck von Aceton bewirkt jedoch ein rasches Verdunsten von der Substrat-Oberfläche, so dass sich zur Vermeidung von Schlieren ein unmittelbar nachfolgender Reinigungsschritt mit dem höher-siedenden Isopropanol empfiehlt. Als Lift-off-Medium ist Aceton nicht gut geeignet, da sein rasches Verdunsten eine Wiederanlagerung bereits gelifteter Metall-Partikel auf der Substrat-Oberfläche fördert.
Geeignete Stripper für Positiv- und Negativlacke finden Sie hier: > Stripper
Technisches Datenblatt:
Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> MC Aceton ULSI (SPEC)
> TF Acton ULSI (SPEC)
> TF Aceton VLSI (SPEC)
> Lösemittel: Theorie und Anwendung
Isopropanol
Physikalische Eigenschaften von Isopropanol:
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Dichte |
0.78 g/cm3 |
Typische Anwendungsbereiche für Isopropanol
Isopropanol eignet sich nach einem vorherigen Aceton-Reinigungsschritt gut zur Substratreinigung für organsiche Verunreinigungen und Partikel. Isopropanol hinterlässt auf Substraten eine wasserfreie Oberfläche, weshalb ein weiteres Spülen mit DI-Wasser nicht empfohlen wird. Weiterhin kann Isopropanol als Additiv für anisotropes Si-Ätzen verwendet werden.
Technisches Datenblatt:
Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> MC Isopropanol ULSI (SPEC)
> TF Isopropanol ULSI (SPEC)
> TF Isopropanol VLSI (SPEC)
> Lösemittel: Theorie und Anwendung
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