FOTOLACK: AZ® 15nXT (115 und 450 CPS)

Wir bieten zwei Varianten des AZ® 15nXT Photoresist (AZ® 15nXT 450CPS und AZ® 15nXT 115CPS) an. Der Hauptunterschied zwischen diesen zwei Produkten ist ihre Viskosität.

Hier die Parameter im direkten Vergleich:

AZ® 15nXT (450CPS)

Substrat: Si wafer for photospeed testing; Cu wafer for imagesFilm
Schichtdicke:
10 µm
Softbake:
110°C / 180 sec.
UV-Empfindlichkeit:
i-line (Dose = 400 ± 50 mJ/cm²; Focus: 1 ± 0,5 µm
PEB: 120°C / 60 sec.

AZ® 15nXT (115 CPS)

Substrat: Si wafer for photospeed testing; Cu wafer for images
Schichtdicke: 6 µm
Softbake: 110°C / 120 sec.
UV- Empfindlichkeit: i-line (Dose = 300 ±50 mJ/cm²; Focus: 1 ± 0,5 µm
PEB: 120°C / 60 sec.
Gebindegröße: auf Anfrage

Allgemeine Informationen

AZ® 15 nXT ist ein Negativlack für Schichtdicken bis ca. 30 µm. Seine Quervernetzung und sehr gute Lackhaftung macht ihn für alle üblichen Galvanik-Anwendungen stabil. Bis etwa 10 µm Lackschichtdicke sind die Lackflanken senkrecht, bei größeren Schichtdicken zunehmend negativ (unterschnitten) so dass sich die abgeformten Metallstrukturen nach oben hin verjüngen.

Herausragende Eigenschaften
  • 5 - 30 µm Lackschichtdicke mittels Einfachbelackung
  • Wässrig alkalisch entwickelbar (z. B. AZ® 326/ 726/ 826 MIF)
  • Sehr gute Lackhaftung, kein Unterwachsen der Lackstrukturen
  • Kompatibel mit vielen Substratmaterialien wie Cu, Au, Ti, NiFe, …
  • Geeignet für nahezu alle üblichen Galvanik-Bäder für Cu, Ni, Au, ...
  • Nasschemisch entfernbar
Entwickler

Wir empfehlen die TMAH-basierten Entwickler AZ® 326 MIF Developer, AZ® 726 MIF Developer oder AZ® 826 MIF Developer.

Entfernen der Lackschicht

Der für den AZ® 15nXT optimierte Stripper ist der NMP-freie, ungiftige und mit allen gängigen, auch alkalisch empfindlichen Substratmaterialien kompatible TechniStrip NI555, welcher auch quervernetzte Lackschichten auflösen, nicht nur ablösen vermag. Lösemittel wie NMP oder das ungiftige DMSO sind zum Entfernen der Fotolackschicht dann geeignet, wenn die Lackschichtdicke und der Quervernetzungsgrad der Lackschicht nicht zu groß sind.
Grundsätzlich empfiehlt sich bei sehr dicken oder stärker quervernetzten Lackschichten ein Erwärmen des Removers auf 60 - 80°C, evtl. unterstützt im Ultraschallbad.

Technisches Datenblatt:

Das technische Datenblatt mit weiteren Informationen finden Sie hier:
> AZ® 15 nXT (115 CPS) (TDS)
>
AZ® 15 nXT (450 CPS) (TDS)
>
AZ® 15nXT (450CPS) (Info)

Wenn Sie Interesse an weiter führenden technischen Informationen, einem Angebot oder einem kostenlosen Muster haben, bitte zögern Sie nicht uns zu kontaktieren.

> sales@microchemcials.com

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